EDITO :
L’international, une priorité partagée

Recherche :
une stratégie d’alliances européennes

J-C Guibert	La stratégie internationale du pôle d’innovation Minatec s’est définie dans le contexte d’une compétition liée à la mondialisation des marchés et de l’accès à la connaissance. Les actions menées jusqu’alors Indépendamment par les deux partenaires du pôle sont progressivement mises en commun pour proposer au meilleur niveau une offre de collaboration à l’international labellisée “Minatec”.
P. Ozil

D’un côté, la politique internationale de l’INP Grenoble est basée sur des actions rassemblant formation, recherche et valorisation.
Centrées sur des cibles régionales clairement identifiées, elles s’appuient sur des partenariats de qualité tel le réseau européen Cluster créé en 1990 entre 11 universités technologiques renommées. L’INP Grenoble, qui accueille chaque année un millier d’étudiants étrangers, porte avec ses partenaires académiques (CNRS et universités) plusieurs projets européens de recherche. Enfin, avec le CEA-Léti, l’INP a lancé une politique active de recrutement de scientifiques étrangers (chercheurs, ingénieurs, post-doctorants, étudiants).
Parallèlement, l’action volontariste du Léti a attiré des partenaires industriels internationaux, à l’image de l’Alliance Crolles2 qui fédère STMicroelectronics, Freescale (Motorola) et Philips. Fort de ses résultats, le Léti s’est ainsi imposé comme l’un des laboratoires clé dans les différentes initiatives et projets européens, en particulier en microélectronique et technologies de l’information, mais aussi en biotechnologies dans le cadre du sixième PCRD.
Grâce au pôle Minatec, Grenoble, traditionnellement à la pointe des percées technologiques, peut prétendre désormais au statut de pôle d’excellence en nanotechnologies dans un contexte de mondialisation exacerbée. De fait, peu de villes offrent simultanément des compétences reconnues au niveau international en formation, en recherche et en développement industriel.
Pour être pérenne, la stratégie internationale de Minatec se fonde sur des relations de confiance partagée avec ses partenaires et s'appuie sur le soutien des instances européennes. Une telle stratégie, inscrite sur le long terme, a permis d’aboutir à l’opération “Minatec Vietnam” basée sur des liens institutionnels tissés durant plus de vingt ans par l’INP Grenoble avec les instituts polytechniques vietnamiens. L’expérience internationale acquise par le CEA-Léti et l’INP Grenoble les conduit à démarrer aujourd’hui des actions conjointes vers d’autres pays d’intérêt commun : le Canada, la Chine, le Brésil, la Tunisie ou la Thaïlande pourraient ainsi nouer de futurs partenariats à court ou moyen terme.
Grenoble peut être fière du surnom de “Little Big Town” que Time Magazine lui a décerné en août 2004 pour sa place de capitale de la haute technologie en Europe. Seuls le maintien et l’amplification de la synergie des compétences réunies au sein de Minatec, dans le cadre de partenariats internationaux structurés, lui permettront de continuer à mériter cette dénomination qui la caractérise si bien.

Jean-Charles Guibert,
Directeur de la valorisation du CEA,
Patrick Ozil, vice-président Relations Internationales de l’INP Grenoble.

Depuis le lancement du sixième PCRD, le CEA-Léti et l’INP Grenoble ont été très actifs dans le développement d’actions et de collaborations en nanotechnologies et nanosciences. Des projets intégrant la formation, la recherche et le développement ont été proposés dans les nouveaux types d’activités financées par l’Europe : projets intégrés (PI), réseaux d’excellence (NoE) et projets de recherche ciblés (Strep) ainsi que des projets dans les réseaux de formation (Marie-Curie).

Signé en juin 1999, l’accord de collaboration entre le CEA-Léti et le Centre Suisse d’Electronique et de Microtechnique (CSEM) a été le précurseur d’une série d’alliances avec d’autres grands instituts de recherche européens dans le domaine des micro- et nanotechnologies. Depuis la fin 2003, des accords similaires ont été signés successivement en Allemagne avec l’Alliance Microélectronique de l’Institut Fraunhofer (FhG-VµE), en Irlande avec le National Microelectronics Research Centre (NMRC) et enfin en Belgique avec l’Interuniversity Micro-Electronics Center (IMEC). Tous ces accords prévoient des relations régulières, des visites et échanges de personnels et des collaborations de recherche dans des domaines bien délimités et différents pour chaque partenaire.
D’ores et déjà, ces alliances se traduisent par une présence très forte dans les PI (par exemple : NanoCMOS – voir encadré ci-dessous – et MoreMoore) menés en collaboration avec les grands industriels du secteur microélectronique et les partenaires académiques du site Minatec.

Les partenariats bilatéraux de Minatec en Europe

Associer recherches amont et aval : la force du site grenoblois
A travers les Réseaux d’excellence européens, la communauté scientifique grenobloise, s’appuyant sur un partenariat très fort entre l’INP Grenoble, l’UJF et le CNRS, marque aujourd’hui l’importance de la recherche amont dans le domaine des nanosciences et des nanotechnologies. Le CEA-Léti est un partenaire naturel de ces projets : la force du site grenoblois est, en effet, de savoir associer dans ces domaines des compétences qui vont de la physique aux matériaux, des composants jusqu’aux dispositifs.
Dans le domaine de la micro- et nanoélectronique, l’IMEP coordonne le réseau Sinano (pour Silicon-based Nanodevices, cf encadré ci-dessous), dédié aux composants électroniques du futur ; ce projet associe les compétences nécessaires pour relever les défis relatifs à la réalisation de nano-dispositifs innovants.
Dans le domaine des matériaux multifonctionnels avancés, le LMGP est un acteur majeur du réseau d’excellence FAME (Functional Advanced Materials and Engineering of hydrides and ceramics). Ce réseau se propose d’impulser de nouvelles connaissances dans les domaines émergents des nano-matériaux intelligents qui s’inspirent beaucoup de la nature et du monde du vivant. Il cible la conception de nouveaux dispositifs et procédés concernant des domaines aussi variés que la micro- et nanoélectronique, les télécommunications, la santé et l’environnement.
La formation de doctorants (dans des centres de formation d’excellence comme par exemple Edith), la recherche de base et les échanges de chercheurs européens feront naître à travers ces réseaux une pépinière de compétences complémentaires et coordonnées. Leur mission sera de mieux comprendre et maîtriser les dispositifs du futur ou les phénomènes physico-chimiques et biologiques complexes, utiles à la maîtrise des matériaux multifonctionnels et éco-efficaces.

Préparer l’avenir de l’espace européen de la recherche.
Deux grands projets récemment acceptés par la Commission européenne illustrent encore mieux ces coopérations nouvelles. L’un, STAR, soutient la création d’une infrastructure coordonnée de recherche en nanoélectronique 300 mm sur les sites de Minatec, Dresde et Louvain et son ouverture à la communauté scientifique européenne. L’autre, MNT-Europe, vise à intégrer les infrastructures en microtechnologies des cinq instituts cités plus haut pour les rendre compatibles entre elles et complémentaires. Ces deux projets sont soutenus par le concept de “Flying Wafer”, objet d’un projet Strep.
Par ailleurs, un certain nombre d’idées nouvelles comme les plates-formes technologiques (ETP) proposées par la Commission préparent l’avenir de l’espace européen de la recherche. Le CEA-Léti, l’INP Grenoble et quelques-uns de ses partenaires s’impliquent étroitement dans les ETP consacrés à la nanoélectronique et aux systèmes embarqués. Après “Grenoble Universités” récemment labellisé “Site d’accueil Marie Curie”, le Léti propose également à l’Europe un nouveau concept : la “MMNT Marie Curie House” qui accueillerait sur le site Minatec des chercheurs européens financés par le programme Marie-Curie de la Commission. Pour chaque chercheur ainsi accueilli, le Léti détacherait un de ses chercheurs sur un autre site européen.

François Weiss, vice-président Recherche à l’INP Grenoble,
Christian Cochet, responsable des Relations Européennes au CEA-Léti

La coopération entre le CSEM et le Léti, animée sur le terrain par Jean-Pierre Dan et Bernard Béchevet (ci-dessus) a, entre autres, abouti à la production de filtres RF (ci-contre).

Filtres RF

La dimension internationale, depuis longtemps au cœur des préoccupations de l’INP Grenoble, est partie intégrante des formations en micro et nanotechnologies.
Lancement du premier diplôme conjoint d’ingénieur en Europe
En accueillant chaque année plus de 1 000 étudiants étrangers dans les formations ingénieurs, dans les masters ou en thèse, l’INP Grenoble développe une véritable politique internationale. Dans le cadre du projet Minatec, cette collaboration avec d’autres universités européennes se renforce. Aussi l’INP Grenoble, l’Ecole Polytechnique Fédérale de Lausanne et le Politecnico di Torino ont-ils ouvert en septembre 2004 le premier diplôme conjoint d'ingénieur en nanotechnologies (www.nanotech.inpg.fr). Les étudiants accueillis dans ce master vont suivre pendant deux ans une formation, dispensée en anglais, dans les trois pays (France, Suisse et Italie) pour obtenir un “Master’s Degree in Micro and Nanotechnologies for Integrated Systems”, diplôme commun entre les trois universités et reconnu comme un diplôme d’ingénieur. C’est la première fois en Europe qu’un diplôme de cette nature est mis en place. A la rentrée 2005, dans la foulée de cette initiative, l’INP Grenoble a le projet d’ouvrir avec le Politecnico di Torino un second “European Master” sur les technologies de l’information.
Nanotechnologies : trois écoles d’été pour trois publics différents
Sur le thème des micro- et nanotechnologies, les écoles d’été se multiplient à Grenoble :
MIGAS, école d’été organisée par l’’IMEP depuis 1997, s’intéresse à des sujets de pointe autour des micro et nanotechnologies. Une cinquantaine de chercheurs et industriels participe chaque année à cette manifestation qui est devenue une référence internationale dans son domaine. La prochaine session organisée à Autrans en 2005, sur le plateau du Vercors, aura pour thème : “Caractérisations physiques et électriques de matériaux et composants pour la nanoélectronique silicium”.
ESONN, école européenne des nanosciences et des nanotechnologies, a vu le jour avec succès cette année dans le cadre de Minatec. Elle s’appuie sur les compétences du CEA, de l’INP Grenoble et de l’UJF (lire ci-dessous).
Les étudiants s’intéressent également aux nanotechnologies: l’école d’été européenne BEST (Board of european students of technology) organisée à Grenoble par les étudiants de l’INP Grenoble avait pour thème en 2004 les micro- et nanotechnologies.
EWME : un colloque international né à Grenoble
Dans le domaine des micro- et nanotechnologies où les métiers évoluent très vite, une réflexion doit être menée en permanence sur la formation, ses contenus et les compétences acquises. Métiers de demain, nouvelles filières, pratiques pédagogiques, le colloque EWME (European Workshop on Microelectronics Education) réunit tous les deux ans des universitaires et des industriels du monde entier pour échanger sur ces thèmes. L’INP Grenoble est à l’origine de cette manifestation d’envergure internationale, associée depuis son origine en 1996 à la conférence américaine MSE (Microelectronics Systems Education). Internationalisation des cursus de pointe, veille sur les métiers en émergence et développement de plateformes de pointe ; il devient indispensable, dans le contexte du pôle Minatec, de disposer d’outils performants pour développer les filières en micro- et nanotechnologies. L’INP Grenoble reste très étroitement associé à l’organisation des colloques EWME et MSE, lieux d’échanges, de propositions et d’innovation pour les formations dans ce domaine.

Nadine Guillemot, vice-présidente Conseil des Etudes et de la Vie Universitaire de l’INP Grenoble

Vietnam : le Léti et l’INP Grenoble jouent la carte de l’avenir

Les actions au Vietnam dans le domaine des micro- et nanotechnologies se sont concrétisées en avril 2004 par un double accord de partenariat pour la formation des chercheurs et la recherche sur les technologies avancées.

Si ces actions résultent de la volonté commune des partenaires de Minatec, le CEA-Léti et l’INP Grenoble, de répondre aux souhaits pressants de leurs partenaires vietnamiens, elles marquent aussi leur ambition de s’investir fortement sur la zone économique de l’Asie du Sud-Est en général – et du Vietnam en particulier – en très forte croissance et porteuse d’énormes potentialités.
Qui sont les partenaires vietnamiens ?
Principalement les deux universités nationales du Vietnam (UNVN) de Hanoï et de Hô-Chi-Minh Ville, ainsi que le Comité Populaire de la ville de Hô-Chi-Minh et son parc technologique SHTP (Saigon HiTech Park).
Quelles sont ces actions ?
Elles se présentent d’ores et déjà selon deux axes :
le premier porte sur la formation des chercheurs vietnamiens dans les laboratoires de l'INP Grenoble et du CEA-Léti. La convention signée avec l'INP Grenoble a pour objectif de renforcer le flux de thèses dont la direction scientifique est effectuée en co-tutelle dans les domaines des micro-nanotechnologies, des télécommunications, de l'informatique, de l'énergie et des matériaux. La convention signée avec le Léti concerne la formation de chercheurs, ingénieurs et techniciens vietnamiens dans le domaine des nanotechnologies. Des séminaires en nanophysique, nanomagnétisme et micro-bio systèmes déjà dispensés en 2003 et 2004 se poursuivront en 2005.
le second axe concerne le développement de projets de recherche communs et le soutien technique dans le domaine des nanotechnologies. Le Léti va apporter son support à la mise en place d'un laboratoire de micro-nanotechnologies à Hô-Chi-Minh Ville.
Ces deux conventions ont été signées par P. Ozil qui représentait le président de l’INP Grenoble P. Jacquet, J. Therme directeur du CEA Grenoble, Nguyen Tan Phat, président de l’UNVN Hô-Chi-Minh Ville, et Pham Chanh Truc, président du SHTP, en présence notamment de R. Fougéres, vice-président à l'enseignement supérieur et à la recherche à la Région Rhône-Alpes, de G. Fioraso, adjointe au développement économique à la Ville de Grenoble et présidente de la SEM Minatec, et de J. Caune, vice-président à l’enseignement supérieur à la Métro.

Michel Dang

Les participants à la signature de l’accord de partenariat d’avril 2004.

UP SGI investit
UP SGI Ultra Propreté, filiale du leader français des traitements de surface de haute technologie, spécialisé dans le recyclage et le reconditionnement d’équipements utilisés par les fabricants de semi-conducteurs, a investi 1,5 M€ sur son nouveau site de Seyssinet (1 200 m2 dont 100 m2 de salles blanches) qui compte plus de 10 salariés (une trentaine est prévue dans les trois ans). Son implantation en région grenobloise va lui permettre d’accompagner ses clients dans la miniaturisation de leurs produits et la photostabilisation.

edXact, vérificateur de circuits intégrés
La société d’édition de logiciels edXact vient de s’implanter à Voreppe. Positionnée sur un marché de niche, celui de la vérification physique des circuits intégrés, edXact prévoit de clôturer son premier exercice avec un chiffre d’affaires de 100 K€ (700K€ en 2005). Si l’Europe – avec en particulier Atmel, STMicroelectronics, Philips, Infineon, AMS ou les filiales de Toshiba et Motorola – représente 30 % du marché potentiel d’edXact, les USA assurent, avec 50 %, la plus grosse part de ce marché et l’Asie constitue les 20 % restants. Disposant d’un portefeuille clients d’environ 60 fabricants de circuits intégrés, edXact souhaite conforter son positionnement en Europe avant d’envisager, début 2006, d’ouvrir un bureau de vente aux USA et de trouver un distributeur pour l’Asie.

Soitec lance un silicium contraint sans germanium
Leader mondial du SOI (silicium sur isolant), technologie clé dans la fabrication des semi-conducteurs, Soitec, implanté à Bernin, annonce la mise au point d’un silicium contraint sur isolant (sSOI) sans germanium. Plus facile à utiliser par les industriels, ce matériau, adapté à l’architecture actuelle des microprocesseurs, permet une augmentation de la vitesse des électrons de 80 % et favorise donc une augmentation très sensible des performances sans aucun changement dans les procédés de fabrication. Fondée sur le procédé Smart Cut du CEA-Léti, cette technologie a été étudiée en partenariat avec l’équipementier ASM International. Le passage en production est prévu au deuxième semestre de 2005.

Pose de la première pierre de Minatec
C’est fait ! le 27 septembre dernier, André Vallini, président du conseil général de l’Isère, Alain Bugat, administrateur général du CEA, Jean Therme, directeur du CEA Grenoble, et Paul Jacquet, président de l’Institut national polytechnique (INP) de Grenoble ont posé la première pierre du pôle Minatec en présence de nombreuses personnalités.
Pour Alain Bugat, Minatec est un “projet phare”, conforme aux stratégies française et européenne et à celle du CEA. “Cette stratégie se prolonge dans une vision de l’avenir, plus large, fondée sur le rapprochement des technologies de la miniaturisation, de la biologie, de l’informatique et des sciences de la connaissance. Le CEA entend bien être au cœur de cette convergence qui profitera en particulier à la santé, à l’environnement et aux loisirs.”
Pour André Vallini, l’effet d’entraînement induit par Minatec ne se limitera pas à la seule ville de Grenoble : “Minatec doit être aussi un état d’esprit, celui qui permettra la diffusion, dans toute notre région, des technologies nouvelles en direction des industries traditionnelles.”
Paul Jacquet a fait remarquer que Minatec, qui bénéficie du soutien de l’Etat et des collectivités locales, est un parfait exemple du concept de “pôle de compétitivité” que le gouvernement propose de soutenir dans la loi de finances 2005, comme modèle possible de développement. “Les trois éléments clés du succès de la constitution de ce pôle, a-t-il expliqué, sont la réactivité, la synergie et la qualité partenariale.”

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Formation continue en micro- et nanotechnologies : toute l’offre sur www.minatec.com
Minatec a donné un nouvel essor aux formations en micro et nanotechnologies tant à l'INP Grenoble qu’au CEA Grenoble. A coté des formations diplômantes, de nombreux stages, inter- ou intra-entreprises, sont d’ores et déjà programmés pour l’année 2005 à la fois par le Département formation continue de l’INP Grenoble et par l'INSTN, organisme de formation du CEA.
D’une durée de un à huit jours, ces formations marient référence au meilleur de l’état de l’art actuel et sessions pratiques notamment par le recours aux installations du CIME (Centre interuniversitaire de microélectronique), du CEA-Leti et des laboratoires de recherche grenoblois. L’offre est large et vise une population allant de l’opérateur de production au chercheur. Toutes les informations disponibles sur le site www.minatec.com/minatec/formation.htm
Il est également possible de contacter directement :
D. Pellegrino (didier.pellegrino@inpg.fr),
C. Tardif (chantal.tardif@cea.fr).

Journées “Nanosciences-nanotechnologies en Rhône-Alpes”
Les 18 et 19 novembre 2004 à Grenoble.
http://www.minatec.com/jnn
Les 5 à 7 de Minatec. 23 novembre 2004, au CEA. Valorisation de la technologie et de l'innovation : transfert de technologies vers un groupe industriel ou création de start-up.http://www.minatec.com/5a7/
3e workshop ST-CNRS “Nouveaux matériaux pour nanoCMOS” sera le thème du workshop semestriel organisé par le CNRS et STMicroelectronics. Le 26 novembre à Crolles. Contact : balestra@enserg.fr

Bio Nano-engineering for nanodevices. Séminaire organisé par l’OMNT, 15 décembre 2004 à Paris. http://www.omnt.fr/
ECIO’05 European Conference on Integrated Optics, du 6 au 8 avril 2005 à Grenoble. http://www.minatec.com/ECIO2005/
ESSCIRC/ESSDERC 2005
Conferences The European Solid-State Circuit Conference (ESSCIRC) and the European Solid-State Device Research Conference (ESSDERC) 12 au 16 septembre. http://www.essderc2005.com/