MINATEC

L'augmentation des performances des microsystèmes passe par la diminution de leur taille. Cela entraine une augmentation des contraintes mécaniques et des déformations auxquels ils sont soumis. Il y a donc une réelle nécessité de caractériser et de surveiller les déformations des Microsystèmes et de relier ces évolutions à leurs performances et leur intégrité au moment de la fabrication. .

L'augmentation des performances des microsystèmes passe par la diminution de leur taille. Cela entraine une augmentation des contraintes mécaniques et des déformations auxquels ils sont soumis. Il y a donc une réelle nécessité de caractériser et de surveiller les déformations des Microsystèmes et de relier ces évolutions à leurs performances et leur intégrité au moment de la fabrication. . L'objectif de la thèse est de mettre en œuvre une boîte à outils de caractérisation (technique + modèle) qui pourrait être utilisé In-Line pour suivre les changements de dimension et les propriétés mécaniques des Microsystèmes et de leurs matériaux constitutifs. Un travail complémentaire consistera à réaliser des simulations numériques pour comprendre les effets des conditions de fabrication sur l'évolution des propriétés mécaniques des MEMS.