MINATEC

 
Cadre du stage :

 
Cadre du stage :
Le laboratoire LPFE développe des imageurs infrarouges dont le fonctionnement est basé sur les propriétés opto-électroniques du matériau ternaire CdHgTe. Les techniques employées sont celles de la microélectronique : dépôts de couches par pulvérisation cathodique, photolithographie, gravures ionique, chimique, plasma et l’implantation ionique. Le laboratoire s’est équipé en 2009 d’un nouvel appareil très performant de gravure par faisceau d’ions équipé d’un spectromètre de masses des ions secondaires destiné à réaliser une détection de fin d’attaque. Aujourd’hui, l’abrasion des surfaces est réalisée uniquement par un processus mécanique du à l’impact du faisceau d’ions, dégradant les propriétés physiques du matériau. Une solution (nommée CAIBE) pour remédier à cette problématique est la possibilité un gaz sur la surface de l’échantillon pour ajouter une composante chimique à la gravure et moduler l’impact de la composante physique. L’objectif de ce stage est d’optimiser les conditions expérimentales pour qualifier l’instrument en mode CAIBE et permettre son utilisation dans les procédés de réalisation des détecteurs photovoltaïques.           
 
Travail demandé :
Dans un premier temps le stagiaire devra prendre connaissance du fonctionnement de l’usineur ionique et des problématiques liées à l’éjection de matière lors de la gravure ionique. Cette étude théorique et bibliographique sera réalisée en parallèle avec l’apprentissage expérimental concernant les outils de préparation de surface, de dépôts sous vide (pulvérisation cathodique), étapes nécessaires à la réalisation des échantillons de test.
Après cette phase d’apprentissage, le candidat mettra en œuvre un plan d’expériences pour trouver les conditions optimales d’utilisation du mode CAIBE, en adéquation avec les spécificités du procédé de fabrication des détecteurs. Il s’occupera de l’intégralité de la réalisation des échantillons (en accord avec les normes sécurité du CEA) ainsi que de la caractérisation physico-chimique (microscopie optique et électronique, profilométrie, SIMS, MET, AFM …) des échantillons avant et après gravure.
Durant ces 3 ans de stages, le stagiaire sera amené à présenter ses travaux en interne et en externe du laboratoire et à interagir directement avec les experts de l’usinage ionique