Les 250 personnes qui travaillent sur la Plate-forme Nanotec 300 conduisent les recherches en microélectronique avancée nécessaires aux futurs substrats et circuits sub. 32 nm.
Ils disposent de 1500 m2 de salles blanches, comprenant des équipements 300 mm de lithographie, gravure, dépôt, implantation, traitement thermique, ainsi que les moyens de caractérisation associés.
Minatec Video Mini Player
L’ensemble représente un investissement cumulé de plus de 100 millions d’euros et permet de réaliser à partir de plaques vierges des modules d’intégration complets. Chaque année, plusieurs millions d’euros sont investis pour enrichir le parc existant.
Nanotec 300 s’appuie également sur les moyens du site STMicroelectronics de Grenoble-Crolles, avec lequel il fonctionne en boucles courtes, avec ceux du site IBM d’Albany aux Etats-Unis, et développe de nombreux partenariats avec la recherche académique.
Les travaux de Nanotec300 portent à la fois sur les structures planaires et 3D aux limites du CMOS, ainsi que sur des procédés en rupture technologique. Aux côtés de programmes exclusifs avec quelques partenaires industriels privilégiés, la plate-forme est ouverte à des programmes non exclusifs en bilatéral : industriels du semi-conducteur, équipementiers dans le cadre de « Joint Development Program » (JDP), etc.
Contact : didier.louis@cea.fr
