Minatec

Les salles blanches du Leti, ses équipements de process (CMOS, MEMS,…) ou de caractérisation et les procédés avancés qui y sont rattachés représentent un capital technologique unique en Europe. Peu d’industriels peuvent investir autant, mais ils sont nombreux à avoir besoin d’une ou plusieurs étapes de procédé, de prototypes voire de préséries de quelques centaines de wafers. Des collaborations que le laboratoire leur propose avec le « Leti 3 S » (Silicon Specialty Solutions), ouvert aux utilisateurs finaux, intégrateurs, revendeurs de wafers spéciaux, fournisseurs de machines etc.
Cet accès aux moyens du Leti s’effectue de manière simple et dans des délais brefs. L’interactivité avec les projets de R&D reste totale. Ces collaborations bénéficient d’une promotion active qui devrait attirer de nombreux utilisateurs.

Contact : LETI-3S@cea.fr

Grâce aux travaux du Leti, la start-up Movea pourra se lancer prochainement sur le marché de la prévention de l’obésité. Elle a bénéficié du transfert de méthodes d’analyses de mouvement qui détectent la nature de l’activité physique d’une personne : assis tonique, assis avachi, debout, allongé, en marche ou en course. Les données sont transmises à un smartphone doté d’un logiciel d’analyse temps réel ; dans une seconde phase du projet, elles seront converties en dépenses énergétiques.
Par rapport aux systèmes du marché, le système du Leti se distingue par sa finesse de détection, sa fiabilité en toutes positions et sa robustesse : plus de 90% de bonne reconnaissance d’activité sur les 230 heures d’essais réalisées avec un hôpital lyonnais.
 
Contact : pierre.jallon@cea.fr

L’activité de soutien à la recherche du CIME Nanotech monte en puissance dans deux nouveaux domaines. La plate-forme de caractérisation de MEMS et de NEMS totalise plusieurs milliers d’heures d’activité, en particulier pour le G2E Lab (qui a détaché une équipe sur place) et pour TIMA. Quant à la plateforme biotechnologies, elle caractérise des MEMS fluidiques, en particulier pour le LMGP.
L’activité historique de conception de circuits intégrés reste prépondérante et a encore progressé de 10% en 2011 : des laboratoires de Grenoble et d’autres villes ont totalisé 80 000 heures d’utilisation en ligne des logiciels de CAO Cadence, Synopsis et Mentor Graphics, gérés et maintenus par trois ingénieurs spécialisés du CIME Nanotech.

Contact : ahmad.bsiesy@cea.fr
 

Comment adapter les technologies de packaging et d’assemblage pour préparer la possible introduction des wafers 450 mm ? Sur ce sujet émergent, discuté à ce jour par une poignée d’acteurs de la micro-électronique, SEMI Europe organise le 24 avril un colloque d’une demi-journée dont l’autre thème sera les technologies de packaging dites « panel-scale ».
L’événement est ouvert à tous : fournisseurs d’équipements, de matériaux et de procédés, intégrateurs, fondeurs, chercheurs, étudiants pourront échanger sur leur vision, leurs résultats et les difficultés rencontrées. Le colloque intéressera en particulier les participants de la conférence MiNaPAD, également consacrée au packaging et à l’assemblage, qui se tient les deux jours suivants.
 
Contact : yguillou@semi.org

Quatre nouvelles entreprises ont rejoint le BHT dans les dernières semaines de 2011 : Advanced Liquid Logic France (laboratoires sur puce), HelioDEL (LED de puissance), Hotblock Onboard (thermoélectricité) et Apix (analyse multigaz), qui sur la lancée de son prix au concours national Oséo d’aide à la création d’entreprises de technologies innovantes, a été officiellement créée le 6 décembre.
Le BHT, Bâtiment de Haute Technologie géré par la SEM MINATEC Entreprises, accueille désormais 22 entreprises sous forme d’hébergement ou de domiciliation. C’est cette dernière formule qui a été retenue pour les quatre start-up qui dans ce cadre, mettent en place une collaboration avec une ou plusieurs équipes de recherche du site.

Contact : communicationbht@gmail.com

Mise en service en octobre 2010, la liaison blanc-blanc (LBB) qui relie dans un environnement ultra-propre les deux principales salles blanches du Leti (B41 et B52B, dont le propriétaire est la SEM MINATEC Entreprises) affiche un bilan très positif. Après quelques difficultés fin 2010, le taux de disponibilité de l’appareil a dépassé en 2011 l’objectif fixé à 98 %. Les 120 trajets journaliers effectués en moyenne sont bien supérieurs aux 80 escomptés et illustrent l’appropriation de la LBB par ses utilisateurs.
Grâce au gain de temps réalisé, le retour sur investissement de l’installation devrait être de 3 ans maximum. Côté activité en salle blanche, on constate une accélération significative du flux de réalisation de certains lots fabriqués alternativement dans les deux bâtiments.
Contact : pierre.caplier@cea.fr

Pour sa 13e édition, la conférence Ultimate Integration on Silicon (ULIS) se tiendra du 5 au 7 mars prochain à MINATEC. Pour mémoire, ULIS a été la toute première conférence accueillie à MINATEC lors de son ouverture en 2006.
Des experts internationaux présenteront les avancées dans le domaine de la physique des composants et circuits intégrés, et des technologies CMOS en particulier. La journée du 5 mars sera consacrée à des tutoriaux, destinés aux doctorants, aux chercheurs mais aussi aux professionnels du secteur engagés dans un parcours de formation continue.
Organisée par un collectif d’équipes européennes de recherche académique et industrielle dont le Leti, l’IMEP-LAHC et STMicroelectronics, cette conférence est également soutenue par le réseau d’excellence Nanofunction. Programme et inscription sur http://ulisconference.org

Contact : raphael.clerc@phelma.grenoble-inp.fr
 

Le CIME Nanotech étrenne depuis le début de l’année un équipement de MOCVD à injection. Principale différence avec une MOCVD classique : un injecteur permet l’envoi pulsé de gouttelettes de précurseurs dans l’enceinte de dépôt. Ces précurseurs, préalablement dissous dans un solvant adéquat, sont maintenus à température ambiante et restent plus stables. La vitesse de croissance est contrôlée précisément à partir de l’injecteur.
Cet équipement appartient à la FMNT. Le LMGP l’utilise actuellement pour un projet Minalogic. Il permet de déposer des métaux (argent, platine…) ou des oxydes métalliques amorphes ou cristallisés : oxyde d’yttrium, d’étain, d’aluminium, de silicium, mais aussi matériaux supraconducteurs, ferromagnétiques, ferro-électriques, piézoélectriques etc.

Contact : carmen.jimenez@grenoble-inp.fr

Les biologistes vont se réjouir : une équipe INAC – Leti - INSERM met enfin à leur disposition des nanocristaux semiconducteurs fluorescents qui, en milieu aqueux, gardent l’essentiel de leur luminescence et restent stables plusieurs mois. Jusqu’ici, ces nanocristaux se dégradaient en moins d’un jour et leur émission lumineuse baissait très vite de 90%.
Les chercheurs ont concentré leurs efforts sur les ligands hydrophiles à base de cystéine utilisés pour contrer la nature hydrophobe des nanocristaux : le contrôle du pH renforce la liaison cystéine – cristal, l’ajout d’un réducteur inhibe la formation des dimères qui réduisent la luminescence. L’étude portait sur des nanocristaux cœur – coquille InP/ZnS mais le résultat vaut pour d’autres semiconducteurs, par exemple CdSe ou CuInS2.
Contact : peter.reiss@cea.fr

L’équipe du Laboratoire de Résonances Magnétiques d’INAC (SCIB) s’est installé au centre de compétences RMN de la Plateforme de nanocaractérisation (PFNC). Celui-ci accueille depuis peu un équipement de polarisation dynamique nucléaire, le 3e au monde de ce type, opérant à un champ magnétique de 10 Tesla.
L’objectif est de tirer tout le parti de cette technique de caractérisation émergente, qui permet un gain en sensibilité de 10 à 1000 par rapport à la RMN classique et réduit ainsi le temps de mesure de plusieurs ordres de grandeur. Les chercheurs comptent ainsi progresser à grands pas dans la caractérisation de surfaces fonctionnalisées : discrimination entre adsorption et greffage covalent, estimation du taux de greffage, disposition des molécules greffées…

Contact : gael.depaepe@cea.fr